На Новосибирском заводе по производству полупроводниковых приборов ОАО «НЗПП» введен в эксплуатацию автоматизированный комплекс управления двумя диффузионными печами термообработки кремниевых пластин.
Комплекс предназначен для автоматического управления технологическим процессом в печах СДОМ (три реактора) по заданной технологом программе и контроля параметров в течение всего технологического процесса.
Комплекс реализован на приборах Термодат-17Е5, 13К5, 11М5 производства предприятия «Системы контроля» и блоках управления тиристорами производства НПК «Рэлсиб».
Выполняемые функции:
1. Измерение и контроль температуры в трех зонах реакторов (рабочие и контрольные термопары). Максимальная температура в печах – 1200°С, термопары типа ТПР.
2. Ручное задание поправки для каждой зоны по показаниям образцовой контрольной термопары.
3. Автоматическое регулирование температуры по ПИД-закону в трех рабочих зонах реакторов (с учетом взаимного влияния зон). Точность регулирования ± 0,3° С.
4. Автоматическое аварийное отключение нагрева по показаниям термопар в контрольных точках зон. Звуковая и световая аварийная сигнализация.
5. Задание параметров техпроцесса с помощью кнопок на передних панелях приборов.
6. Контроль, регистрация параметров процессов в архивах приборов в реальном времени при круглосуточном режиме работы. Считывание из архивов приборов на USB-Flash накопитель с возможностью дальнейшей обработки и формирования отчетов на персональном компьютере.
7. Отображение параметров на экранах приборов:
- в виде графика или таблицы значений с возможностью выбора необходимого вида. Индикация температуры обеспечивается с десятыми долями градуса.
- в виде цифровых значений на 4-х разрядных светодиодных индикаторах приборов.
Введение комплекса в эксплуатацию позволило:
1. Заменить устаревшие регуляторы БПТР с сохранением силовой тиристорной системы управления, что позволило получить значительную экономию средств.
2. Получить визуализацию температуры в реальных единицах измерения (в БПРТ индикация температуры не предусмотрена, задание уставки – в милливольтах).
3. Задавать программу регулирования по шагам (нагрев / остывание с заданной скоростью, выдержка с заданным временем).
4. Формировать и распечатывать отчеты.
5. Повысить качество продукции, сократить количество брака.
