Модернизация диффузионных печей СДОМ в полупроводниковом производстве

  • Просмотров: 2083
 

Автоматическое управление технологическим процессом в печах  СДОМДата ввода в эксплуатацию: декабрь 2013 года.

В декабре 2013 г. на Новосибирском заводе по производству полупроводниковых приборов ОАО «НЗПП» введен в эксплуатацию автоматизированный комплекс управления двумя диффузионными печами термообработки кремниевых пластин.

Комплекс предназначен для автоматического управления технологическим процессом в печах  СДОМ (три реактора)  по заданной технологом программе   и контроля параметров в течение всего технологического процесса.

Комплекс реализован на приборах Термодат-17Е5, 13К5, 11М5 производства предприятия «Системы контроля» и блоках управления тиристорами производства НПК «Рэлсиб».
 

Выполняемые функции:

1. Измерение и контроль температуры в трех зонах реакторов (рабочие и контрольные термопары). Максимальная температура в печах – 1200°С, термопары типа ТПР.

2. Ручное задание поправки для каждой зоны по показаниям образцовой контрольной термопары.

3. Автоматическое регулирование температуры по ПИД-закону в трех рабочих зонах реакторов (с учетом взаимного влияния зон). Точность регулирования ± 0,3° С.

4. Автоматическое аварийное отключение нагрева по показаниям термопар в контрольных точках зон. Звуковая и световая аварийная сигнализация.

5. Задание параметров техпроцесса с помощью кнопок на передних панелях приборов.

6. Контроль, регистрация параметров процессов в архивах приборов в реальном времени при круглосуточном режиме работы. Считывание из архивов приборов на USB-Flash накопитель с возможностью дальнейшей обработки и формирования отчетов на персональном компьютере.

7. Отображение параметров на экранах приборов:

- в виде графика или таблицы значений с возможностью выбора необходимого вида. Индикация температуры обеспечивается с десятыми долями градуса.

- в виде цифровых значений на 4-х разрядных светодиодных индикаторах приборов.
 

Введение комплекса в эксплуатацию позволило:

1. Заменить устаревшие регуляторы БПТР с сохранением силовой тиристорной системы управления, что позволило получить значительную экономию средств.

2. Получить визуализацию температуры в реальных единицах измерения (в БПРТ индикация температуры не предусмотрена, задание уставки – в милливольтах).

3. Задавать программу регулирования по шагам (нагрев / остывание с заданной скоростью, выдержка с заданным временем).

4. Формировать и распечатывать отчеты.

5. Повысить качество продукции, сократить количество брака.
 

Кузнецов Алексей, начальник отдела автоматизации ООО ТСЦ "Рэлсиб"
 

Модернизация диффузионных печей СДОМ в полупроводниковом производстве Модернизация диффузионных печей СДОМ в полупроводниковом производстве

Powered by module Blog | News | Reviews | Gallery ver.: 4.32.5 Lightspeed (Commercial license) (opencartadmin.com)